氯化氢目前广泛应用于哪些行业?
氯化氢气体在当前电子工业中的使用量越来越大,要求也越来越高。电子级氯化氢是指纯度高于99.999%的高纯氯化氢。
煤气。除了纯度要求高之外,对氯化氢气体的质量要求也非常严格。
随着微电子产业向大尺寸、高集成度、高均匀性和高完整性方向的快速发展,对电子级氯化氢有了新的要求,广泛应用于单晶硅的气相抛光和外延框架的腐蚀。除纯度99.999%超过之外,还要求氯化氢中的THC、H2O和金属离子等有机杂质的含量尽可能低。
电子级氯化氢主要用于外延生长前硅和砷化镓的高温气相蚀刻,以去除钠离子。此外,高纯氯化氢还用于金属表面化学处理、激光用混合气体、薄膜生产和碳纤维表面处理。过去,我国主要从美国、日本等国进口电子级氯化氢,但近年来,我国电子工业所需化学气体的开发有了许多突破和发展。
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随着微电子产业向大尺寸、高集成度、高均匀性和高完整性方向的快速发展,对电子级氯化氢有了新的要求,广泛应用于单晶硅的气相抛光和外延框架的腐蚀。除纯度99.999%超过之外,还要求氯化氢中的THC、H2O和金属离子等有机杂质的含量尽可能低。
电子级氯化氢主要用于外延生长前硅和砷化镓的高温气相蚀刻,以去除钠离子。此外,高纯氯化氢还用于金属表面化学处理、激光用混合气体、薄膜生产和碳纤维表面处理。过去,我国主要从美国、日本等国进口电子级氯化氢,但近年来,我国电子工业所需化学气体的开发有了许多突破和发展。
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