高纯氯气在电子工业中的用途
在电子工业中,高纯氯气主要用于电子工业干刻、光导纤维、晶体生长和热氧化。
干法刻蚀是用等离子体进行薄膜刻蚀的技术。
干刻又叫干法蚀刻,是指气固反应,气相产物主要有GaCl2,AsCl2和氢气,使用氯气做等离子蚀刻时,通常采用5%的高纯氯气+95%的氦气。用氯气氧化降解制备纳米微晶纤维素。
中国专利公开了用氯气氧化降解制备纳米微晶纤维素的方法,与水解法制备纳米微晶纤维素相比,氯气氧化降解法利用了氯气水解所产生的次氯酸钠的漂白作用,可以使制得的纳米微晶纤维素光亮、洁白。氯气还用于大规模集成电路、光纤、高温超导等技术领域。
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