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电子工业对电子级HCl的要求

    现在电子级氯化氢气体使用的越来越多,对它的要求也越来越高,我们一起看一下电子级氯化氢气体的要求有哪些,我们以后该如何来制造电子级氯化氢气体。

    随着微电子工业向着大尺寸、高集成化、高均匀性和高完整性方向的飞速发展,对广泛用于单晶硅气相抛光和外延机座腐蚀的电子级氯化氢也有了新的要求。除了应具有99.999%以上的纯度,还要求氯化氢的THC、H2O和金属离子等有机杂质的含量越低越好。 

    电子级氯化氢主要用于外延生长前硅和砷化镓高温气相刻蚀,清除钠离子。另外高纯氯化氢也用于金属表面化学处理,激光用混合气、胶片生产及碳纤维表面处理。过去我国大多从美、日等国进口电子级氯化氢,但近年来,我国电子工业所需的化学气体的研制,在技术上已有不少突破和发展。

    我公司长期供应各种规格高品质氯化氢产品,并提供氯化氢专用配套设施、设备、阀门、减压器,并提供优质技术服务和售后。

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