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电子特气净化的重要性

    电子特气顾名思义是永运到电子行业的特殊气体,但是这种气体不同于其他特气,这种气体在工业中使用时要求很高。我们一起来看一下。

    电子特气广泛应用于半导体、微电子和关联的太阳能电池等高科技产业,或用于薄膜堆积、刻蚀、掺杂、钝化、清洗,或用作载气、维护气氛等等。因为半导体和微电子技能向更高功能、更高集成度开展,对电子特气的纯度提出了越来越高的需求,电子特气的的净化更加重要。

    目前国内的超高纯度净化技能首要依靠进口,本身的技能水准(6N)与国际先进水平(8-9N)有较大距离。本项目将描绘和研制一系列高效、高容量、高选择性、低成本的新式纳米净化剂,对MO源、惰性气体、氢化物气体、反响性气体、腐蚀性气体等5个系列,50多种电子特气进行结尾净化,使电子特气纯度由ppm级进步到ppb、ppt级,并将特气传输和控制系统对气体纯度的影响降至最小,然后极大地改进工艺才能,下降产物缺点, 进步制程的产值,满意下一代半导体、微电子以及关联高技能开展的需求。本项目将构成有自主知识产权的超高纯度电子特气净化技能,处理超高纯度电子特气净化这一核心技能的国产化问题。

    以上内容由氯化氢生产厂家为您提供,要是还有什么疑问,欢迎您随时来电咨询。我们生产经营氯化氢气体已经多年,而且深受广大新老客户的信赖,希望我们也可以成为很好的合作伙伴,共同创造美好的未来。

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